Experimental
Etching and spraying techniques
 |
JEE-4X Vacuum Evaporator, JEOL, Япония
Вакуумный испаритель JEE-4X используется для подготовки образцов для электронной микроскопии и микроанализа и нанесения тонких проводящих покрытий металлов и углерода на поверхность диэлектрических образцов методом термического распыления в вакууме. |
 |
Fine coat Ion sputter JFC 1100, JEOL, Япония
Прибор для чистки поверхности и катодного напыления образцов в аргоне. |
 |
SC7620 Mini Sputter Coater, Carl Zeiss, Германия
Установка для напыления тонких проводящих металлических и углеродных покрытий на образцы для SEM методом катодного распыления в среде аргона. Толщина покрытий может быть 50 – 300 A, но обычно используется 1 – 20 нм. |