Вакуумный испаритель JEE-4X используется для подготовки образцов для электронной микроскопии и микроанализа и нанесения тонких проводящих покрытий металлов и углерода на поверхность диэлектрических образцов методом термического распыления в вакууме.

Прибор для чистки поверхности и катодного напыления образцов в аргоне.

Установка для напыления тонких проводящих металлических и углеродных покрытий на образцы для SEM методом катодного распыления в среде аргона. Толщина покрытий может быть 50 – 300 A, но обычно используется 1 – 20 нм.